코스테크(주)｜검교정기

TERPS®는 최고 수준의 성능을 제공하는 공명 실리콘 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 압력 센서 기술입니다. 설계 및 제조에 대한 여러 가지 주요 혁신의 결과로, 이 공명 실리콘 압력 센서 기술은 기존의 압력 측정 기술보다 10배 더 정확하고 안정적입니다.

Druck의 시장을 선도하는 독점적인 압력 센싱 기술은 Druck의 압력 센서, 교정기, 컨트롤러 및 피토 정압 테스터에 사용될 때 타의 추종을 불허하는 정확도, 안정성 및 정밀도 사양을 제공합니다.

거의 10년에 걸친 엄격한 비교 테스트를 통해 TERPS® 기술이 고객에게 타의 추종을 불허하는 안정성(낮은 드리프트), 정확도, 견고성 및 속도를 모두 제공한다는 것이 입증되었습니다.

동일한 조건에서 TERPS® 성능을 탑재한 Druck의 압력 제품군은 기존의 실리콘 기반 센싱 기술보다 10배 이상의 정확도와 10배 이상의 안정성을 달성할 수 있습니다. 석영, 필름 또는 광학 압력과 같은 다른 압력 측정 기술은 TERPS®와 비교할 수 없습니다.

TERPS® 정의

TERPS®는 공명 구조의 변형을 통해 트랜스듀서의 주파수를 변화시킵니다. 이 주파수는 센서의 다이어프램에 가해지는 압력과 비례합니다.

TERPS®의 독특한 설계는 특히 드리프트 및 히스테리시스(압력 및 온도) 측면에서 뛰어난 성능의 기반이 됩니다.

TERPS®의 구조 및 제작은 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다.

공명 구조의 두께와 질량을 제어하기 위해 SOI(Silicon-on-Insulator)를 사용하여 명확하게 정의된 공명 주파수
동적 질량 및 힘 균형을 위해 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)를 사용하여 명확하게 정의된 특허 구조를 만들어 매체의 점도에 민감하지 않음
DRIE를 사용하여 복잡한 저임피던스 센싱 기술을 구현하여 가혹한 매체로부터 완벽하게 차단
SFB(Silicon Fusion Bonding)를 사용하여 낮은 열 및 압력 히스테리시스

TERPS®를 선택해야 하는 이유

데이터로 입증된 놀라운 공명 성능

±0.0015% FS (15ppm)의 TERPS®는 표준 실리콘 센서보다 10배 더 높은 정확도와 안정성을 제공합니다. TERPS®는 제3자 기관을 통해 엄격한 테스트를 거쳤으며, 그 결과가 공개되어 고객에게 놀라운 안정성과 정확성을 직접 확인할 수 있습니다.

저비용 고성능

석영보다 내구성이 뛰어난 TERPS®는 석영의 정확도와 안정성을 제공하면서 열악한 환경에서도 내구성이 뛰어나고 석영보다 훨씬 저렴한 가격으로 구입할 수 있는 장점이 있습니다.

짧은 리드 타임으로 제품 유연성 확보

TERPS®를 밀봉된 유닛으로 센서에 통합함으로써 TERPS는 다양한 기능을 갖춘 제품으로 생산될 수 있습니다. TERPS는 신속하게 배송되므로 석영의 리드 타임과 관련된 문제가 없습니다.

기존 센싱 기술에 비해 정확도 10배, 정밀도 10배, 안정성 10배

TERPS® 어플리케이션

검증된 산업용 센싱, 테스트 및 교정, 항공우주용 압력 제품군을 기반으로 하는 TERPS® 기술은 다음과 같은 어플리케이션에 대해 정확도 향상, 교정 주기 연장 및 장기 안정성을 제공합니다.

항공 지상 테스트
수문학 및 해양학
레벨 모니터링 - 조수, 밸러스트 탱크, 쓰나미 감지
기압계 및 기상 관측소
터빈 제어 및 최적화
산업 자동화를 위한 압력 측정 및 제어
세계 최고 수준의 정확도와 안정성으로 교정 유지보수 및 다운타임 감소

TERPS® 정의

TERPS®를 선택해야 하는 이유

TERPS® 어플리케이션

RPS/DPS8000

RPS/DPS8100

RPS/DPS8200/8300

RPS/DPS8000H

ADTS542

ADTS550F Series

ADTS405 MkII

PACE CM3

PACE1000 IRS

PACE Tallis

PM620T (TERPS PM)

DPI620G + MC620G + PM620T

DPI620G + PV62X + PM620T