어플리케이션  -  고객 사례

생산/제조[Druck] 고순도 특수 가스 캐비닛을 위한 압력 모니터링 솔루션

  • Druck 비즈니스: 구성 가능한 모듈식 압력 센서
  • 어플리케이션: 순도 특수 가스 캐비닛의 압력 모니터링 
  • 고객 유형: 반도체 공장을 위한 고순도 특수 가스 캐비닛 제조업체
  • 제품/서비스: UNIK 1000 구성 가능 모듈식 압력 센서
  • 장점: 뛰어난 맞춤화 기능 높은 정확도, 장기적 안정성, 저렴한 비용 짧은 납기





Druck의 고객

중국에 본사를 둔 Druck의 고객은 고순도 특수 가스 캐비닛의 개발과 제조를 전문으로 하는 선도적인 첨단 혁신 기업입니다.



Druck의 고객 과제

고순도 특수 가스 캐비닛은 반도체 생산 라인에서 고순도 보호 가스에 대한 정밀한 압력 및 유량 제어를 제공하기 위해 널리 사용됩니다. 필요한 압력 제어 정확도는 0.25% FS 이상이어야 하며, 가스 압력 범위는 14.696psiG~1000psiG의 낮은 수준에서 1000psiG~3000psiG의 높은 수준까지 다양합니다. 고순도 특수 가스 캐비닛에 설치된 센서의 수는 가스 제어 경로의 설계에 따라 5개에서 10개까지 다양합니다. 반도체 공정 기술의 특수성으로 인해, 필요한 센서는 시스템의 고순도 사양을 충족해야 하며, 순도가 99.999% 이상이어야 하고, 부식 방지 및 누출 방지 기능이 있어야 하며, 통합 설계가 되어 있어야 합니다. 설치 시스템의 밀폐 효과를 개선하기 위해 Druck의 고객은 센서에 그리스를 완전히 제거하고, 오일이 없어야 하며, 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 특수 VCR 압력 커넥터를 장착해야 했습니다.


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사진 1. 고순도 특수 가스 캐비넷



Druck의 솔루션

Druck 팀은 고객과 긴밀한 파트너십을 구축하고 UNIK 1000 압력 센서를 도입했습니다. 광범위한 검증 및 승인 테스트를 거친 후, 고객은 UNIK 1000 압력 센서의 높은 정확도, 장기적 안정성, 저렴한 비용에 매우 만족했습니다. Druck은 산업 규격에 따라 최대 6,000psi의 압력을 견딜 수 있는 특수 VCR 압력 피팅을 개발했습니다. 또한 고객의 오일-프리 요구 사항을 충족하기 위해 센서 제조 공정에 대한 세척 체계를 개발했습니다.


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사진 2. UNIK 1000 구성 가능 모듈식 압력 센서



Druck의 부가가치

Druck의 UNIK 1000 압력 트랜스미터는 성공적인 UNIK 5000 구성 가능한 모듈식 압력 센서의 파생 제품입니다. 이 사례에서 고객은 맞춤형 VCR 압력 커넥터를 통해 고순도 특수 가스 캐비닛에 있는 가스 파이프라인의 압력을 정확하고 편리하게 모니터링할 수 있었습니다. 또한, Druck의 UNIK 1000 압력 센서는 센서 제조 과정에서 탈지 및 오일 프리 처리가 적용되어 고순도 조건에 대한 고객의 요구 사항에 따라 사용할 수 있습니다. 현지화 생산, 짧은 제품 리드 타임, 우수한 맞춤화 기능, 강력한 현지 기술 지원이 결합되어 고객이 운영 비용을 절감하고 비즈니스를 성장시킬 수 있었습니다.



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